泰克6430亚FA程控源表

泰克6430亚FA程控源表

6430亚fA程控源表集合了吉时利源表 和源测量单元（SMU）产品的电压源和电流 源及测量功能，比静电计灵敏度更高，噪 声更低，输入阻抗更高。这种*的性能 是通过6430远端前置放大器实现的，它提 供非常灵敏的双向放大器，用于测量或产 生被测试器件的电流。远端前置放大器输 出的高电平信号通过一条2米长的线缆发 送到控制主机上。这使得用户可以直接， 或者近距离连接该信号，减少线缆噪声 的影响。

主要特点:

• 0.4fA p-p (4E-16A)噪声
• 远端前置放大器可以位于信号源处以减少线缆噪声
• 电压测量的输入阻抗>1016Ω
• 高速——达2000读数/秒
• 分辨率达6位半
• 快速元件特性分析，带可编程数字I/O和接口

6430按照静电计无法达到的速度测量 电压、电流与电阻。它可以每秒读取多 2000源/测量读数，读入内部存储器中。 可以测量快速小电流，100nA量程可响应 短至5ms的信号，较大量程可响应几百微 秒的信号。

6430的*特点包括其优秀的低电 流灵敏度和远端前置放大器，这通过避 免长输入线缆发挥了灵敏度的作用。远 端前置放大器是6430反馈测量系统的主 要部分，虽然通过长达2米，带载高电平 信号的连接线缆它能离开主机一段距离 但是它不能独立于测量主机工作。

应用

6430的功能使其同样适于在测试实 验室的研究工作和复杂元件的评估，结 合其它源测量仪器或SMU用于在较高电平 上进行低电流、高电阻或高灵敏度的半 导体测量。6430的低噪声和漂移性能也非 常适合高阻性纳米线和其它高阻纳米材 料的研究。

高速数据处理

6430能以超过2000个读数/秒的速度 读至其内存缓冲器。IEEE-488总线输出能 每秒发送达75个源/测量读数至外部计算 机控制器，包括通过/失效指示。

6430能提供达2.2W的4象限源， 以及低至亚fA和微伏电平的测量 灵敏度。在高达20V，它能测量从 1pA量程（仅0.4fA峰峰值噪声）至 100mA量程的电流。可提供200mV至 200V的电压范围。电流和电压量程 设置定义了源或阱电压或电流的 大值。

典型应用：

半导体测量

基于FET元件中的栅 极漏电或沟道漏电会在 MOSFET、FET、模拟开关和许 多其它电路中产生误差。通 过允许研究人员测量极低电 平的电流和电压，6430能帮 助他们了解这些元件的设计 局限以及研究替代器件的结 构或材料。

测量FET的栅极漏电和沟道电

SET研究

6430具有的优秀低电流测量能力（<0.4fA峰峰值）使其对于单电子晶体管 （SET）和量子点研究非常有用。使用类似于锁定的技术，6430能以1aA灵敏度测量 电流（10–18A=6电子/秒）。

测量行业的低噪声和漂移

下图的数据表明6430在5小时期间内稳定性非常突出，而且短期的低噪声性能 优秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升时间在1pA量程上实现微弱信号采集。插 图中的细节是滤波信号的截图，显示了6430型在开始的100秒期间的低噪声性能 （仅200aA峰峰值）。在温度变化约1°C的实验室环境下提取数据，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引线接防护罩。

泰克6430亚FA程控源表

浓缩的测量指标1

电压测量准确度（4线感测）3

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。附加的测量指标

附加的测量指标

输出建立时间（典型值为终值的10%）：<2s，1pA和10pA量程；<50ms，100pA 至10nA量程；<5ms，100nA至100mA量程。
电流噪声：在1分钟间隔观察时，90%的间隔中峰峰值噪声在400aA以内， 在使用Autofilter（5s 10% -90%的上升时间），使用三同轴连接器防护 罩，Autozero OFF、Source Delay=0，使用1pA量程至少3分钟的条件下。

电流测量准确度（2线或4线感测）4

温度系数（0°C-18°C & 28°C-40°C）：±[（0.15×规定的准确度）+1fA]/°C。
输入电流：<3fA@23°C，<40%相对湿度；通常为±0.5fA/°C在23°C左右，<40% 相对湿度。

电阻测量准确度（4线感测带远端前置放大器）

输出电流模式，自动电阻

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。
输出电流模式，手动电阻：不确定度总和=电流输出准确度+电压测量准确度 （四线测量）。
输出电压模式：不确定度总和=电压输出准确度+电流测量准确度（四线测 量）。
6线电阻模式：可使用有源电阻防护和防护检测（仅主机后面板）。防护输出 电流大值：50mA。准确度取决于负载。查阅手册获取计算公式。
主机防护输出电阻：0.1Ω，电阻模式。

注解：

1.速度=10PLC，Autofilter ON，正确归零和稳定。
2.输出电流模式，I=0。
3.电压测量准确度不受远端前置放大器的影响。
4.电流测量准确度不受远端前置放大器影响；然而，1pA~100nA量程仅当 使用前置放大器时可用。
5.四线模式。
6.仅手动电阻模式。
7.激活源回读，失调补偿开。源时延必须设置为使源*稳定才能读数。

浓缩的系统速度

测量1

量程变化速度的大值：75/s。
单读数工作模式的读速度（读数/秒），在60Hz（50Hz）条件下：

浓缩的源指标4

电压设置准确度（4线感测）5

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。
大输出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱极限：±21V@±105mA，±210V@±10.5mA。
电压调整率：线路调整率：量程的0.01%。负载调整率：量程的0.01%+100μV。
噪声10Hz~1MHz（峰峰值）：10mV。
过压保护：用户可选择，5%公差。工厂缺省为None。
电流钳制：双极性电流极限（容限）设为一个值。量程的0.1%（小值）。

电流设置准确度（带远端前置放大器）

温度系数（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×规定的准确度）/°C。
大输出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱极限：±10.5mA@±210V，±105mA@±21V。
电流调整率：线路调整率：量程的0.01%。负载调整率：量程的0.01%+1fA。
电压极限：双极性电压极限（容限）设为一个值。量程的0.1%（小值）。

注解：

1.读数速率可用于电压或电流测量。关闭自稳零，关闭自动量程，关 闭滤波器，关闭显示，触发延时=0，源自动清空，并且采用二进制读 数格式。
2.采用上限和数学下限进行通过/失效测试。
3.包含测量之前重新设置源至新电平的时间。
4.对于阱模式，1pA~100mA量程，准确度是±(0.15%+偏移*4)。
5.电压源准确度不受远端前置放大器的影响。

综合说明

负载阻抗：稳定至20000pF在100mA至100μA量程，470pF在10μA和1μA量 程，以及100pF在nA和pA量程。查阅用户手册获取大电容性负载测量的 详细说明。
共模电压：±42VDC大值。
共模隔离：>109Ω，<1000pF。
过量程：量程的105%，源和测量。
输入/输出与测量端子之间的大压降：5V。（为满足规定的准确度用4线测 量，请参阅用户手册。）
测试线电阻大值：10Ω，对于额定准确度。
测试输入电阻：1MΩ。
主机防护偏置电压：300μV，典型值。
前置放大器防护偏置电压：1mV典型值。
前置放大器防护输出电阻：110kΩ。
源输出模式：固定直流电平，内存列表（混合功能），阶梯波扫描（线性和 对数）。
源内存列表：100点（大值）。
内存缓冲区：5,000个读数/秒@5位半（2个2,500点缓冲区）。包括所选的测 量值和时间戳。锂电池备份（电池寿命超过3年）。
数字接口：
安全互锁：有源低电平输入：
处理程序接口：测试开始，测试结束，3类比特。+5V@300mA电源。
数字I/O：1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出（33V@500mA阱、二极管钳 位）。
可编程性：IEEE-488(SCPI-1995.0)，RS-232，5种用户定义的上电状态加上 出厂缺省设置和*RST。
电源：100V~240V有效值，50Hz~60Hz（上电时自动检测），100VA大值。
EMC：符合欧盟指令89/336/EEC EN 55011，EN 50082-1，EN 61000-3-2和 61000-3-3，FCC第15部分Class B。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振动：MIL-PRF-28800F，Class 3。
预热时间：1小时达到额定准确度。
规格：89mm高×213mm宽×370mm深（3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in）。
测试台尺寸配置（带手柄和支脚）：104mm高×238mm宽×370mm深（4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in）。
放大器：20mm高×57mm宽×97mm深（0.783 in×2.225 in×3.75 in）。
重量：5.9公斤（13磅）。
工作环境：工作条件：0°~40°C，60%相对湿度（不凝结）至35°C。在 35°~40°C范围内，相对湿度降低5%/°C。存储条件：–25°C~65°C，不凝 结的湿度。