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泰克2612B数字源表

产品简介

泰克2612B数字源表
2600B 系列 SourceMeter SMU 仪器
Keithley 2600B 系列系统 SMU 仪器是业界标准电流-电压源和测量解决方案,适用于高度自动化生产测试应用。 双通道和单通道型号都紧密集成一个精密电源、真正电流源、数字万用表和具有脉冲生成功能的电子负载。 另外,TSP® 技术可运行完整测试程序,适用于自动化系统应用,TSP-链路&am

产品型号:2612B
更新时间:2023-07-21
厂商性质:代理商
访问量:779
详细介绍在线留言
品牌泰克产地类别进口
应用领域电子

泰克2612B数字源表

2600B系列系统数字源表源测量单元(SMU)仪表是业界yi流的电流/电压源 与测量解决方案,它是利用吉时利第三代源测量单元(SMU)技术建造的。2600B 系列产品包括单通道和双通道型号,集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表(DMM)、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案,大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用,2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件,支持即插即用I/V测试,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用,2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP),可以运行仪器内存储的完整测试程序,实现业界*的吞吐量。在更大型的多通道应用中,吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作,实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元(SMU)仪表具有不需要主机的、*隔离的通道,因此,可以根据测试应用需求的进展,很容易进行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V测试软件

2600B系列数字源表是唯yi内置基于Java测试软件的源测量单元(SMU)仪表, 支持真正的即插即用I/V特性分析,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个*功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆,将2600B数字源表连接至互联网,打开浏览器,输入2600B的IP低至,即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表(如Excel),供进一步的分析和格式化,或者导入其他文档或演示文稿。

采用TSP技术,提供*的吞吐量,适合自动测试

对于需要zui高自动化和吞吐量级别的测试应用来说,2600B数字源表的TSP技术提供了业界*的性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它*嵌入,然后,在源测量单元(SMU)仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信,因此,大幅缩短整个测试时间。

 

TSP技术将执行来自2600B系列数字源表内非易失性存储的完整测试程序。

通过TSP-Link技术,实现SMU-Per-Pin并行测试

TSP-Link是通道扩展总线,支持多 个2600B系列数字源表互连,成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作,支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是,2600B在无需主机成本或负担 情况下,实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统,还支持出众的灵活性, 可以根据测试需求的变化,迅速而容易 地对系统进行重新配置。

在TSP-Link系统中,所有通道的同步都控制在 500ns以内。

2400型软件仿真

2600B系列数字源表,与为吉时利2400 型数字源表源测量单元(SMU)仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列, 并使测试速度提高高达80%。此外,它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径,实施后,可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统,在这个模式下,还*支持2400型源存储清单测试序列。

第三代SMU设计,确保实现更快的测试时间

在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上,2600B系列的源测量单元(SMU) 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如,早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构,而2600 B系列采用了已申请专li 的串联量程调节结构,这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。

SMU-Per-Pin并行测试采用TSP与TSP-Link技术,提高测试吞吐量,并降低测试成本。

2600B系列数字源表源测量单元 (SMU)仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下,源测 量单元(SMU)仪表为大吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下,源测 量单元(SMU)仪表使用较慢的带宽, 为较高电容负载提供鲁棒的性能。

简化半导体元件测试、验证与分析

可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的大化,使客户可以在开发、质量认证或故障分析中,对封装器件进行特性分析。主要特性包括:

  • 内容丰富、易于访问的测试库
  • 脚本编辑器,实现现有测试的快速定制
  • 数据工具,便于迅速比较测试结果
  • 公式工具,便于分析俘获的曲线,并提供多种数据函数。

欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息,参见ACS Basic版本数据表。

强大的软件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件,免 费Test Script Builder软件工具,可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。

2600B系列产品3个型号的双通道 台式数字源表,提供业界*的价值 和性能

如果想调试设计问题,首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题,如果没有合适的调试工具,这项任务耗时长、非常麻烦。

为了满足那些不需要yi流系统级自 动化能力的应用需求,吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展,推出3中的 高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似,但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。

完整的自动化系统解决方案

吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统,适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元(SMU),提供 创新的测量特性与系统灵活性,可以根据需求进行升级。其*的测量能力, 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件,为客户提供全面的应用 范围和特性,这是市场上竞争产品所不具备的。

表1 2600B软件工具

特征/功能ACS Basic版本基于Java即插即用软件Test Script Builder (TSB)
说明半导体特性分析软件, 用于元件测试、验证 与分析迅速启动的、基于Java即插即用软件工具,支持快速和容易的I-V测试,主要用于台式和实验室用户为TSP仪器定制的脚本编写工具
支持的硬件2400系列、2600B系列、4200-SCS2600B系列2600B系列,3700系列
支持的总线GPIB, LAN/LXILAN / LXIGPIB, RS-232,LAN/LXI, USB
功能基于向导的直觉图形用户接口(GUI),丰富的测试测试库和曲线跟踪能力直线/对数扫描、脉冲、自定义扫描、单点源测量注意:可使用2600B的新API实现精确定时和通道同步总体灵活的自定义脚本,功能齐全的调试器
数据管理公式工具,包括多种数学函数.csv文件导出用户定义
安装选购不需要。内嵌在仪表中免费下载或CD提供,安装在PC上

当您需要对封装器件数据进行快速采集时,通过 ACS Basic版本软件基于相当的用户界面,很容易 发现和运行期望的测试,就像常见的 FET曲线跟 踪测试一样。

ACS Basic版本软件具有灵活的软件体系结构,允许为 系统配置多种控制器与测试夹具,并可以根据应用需要, 配置所需的数字源表数量。

典型应用

各种器件的I-V功能测试和特征分析,包括:

  • 分立和无源元件
    – 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻(MOV)、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
    – 三抽头器件——小信号双极结型晶体管(BJT)场效应晶体管(FET),等等
  • 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器
  • 集成器件——小规模集成(SSI)和大规模集成(LSI) – 模拟IC
    – 射频集成电路(RFIC)
    – 集成电路(ASIC)
    – 片上系统(SOC)器件
  • 光电器件,例如发光二极管(LED)、激光二极管高亮度LED(HBLED)、垂直腔面发射激光器 (VCSEL)、显示器
  • 圆片级可靠性
    – NBTI、TDDB、HCI、电迁移
  • 太阳能电池
  • 电池
  • 更多…

2604B/2614B型仪表的背板
(单通道2601B, 2611B, 2635B没有给出)。

2636B型仪表的背板

在第yi和第三象限,2600B系列仪器用作信号源,向负载提供 电源。在第二和第四象限,2600B系列仪器用作信号宿,内部 消耗功率。

2601B、2602B和2604B的I-V测试功能

2611B、2612B和2614B的I-V 测试功能

2634B、2635B和2636B的I-V 测试功能

泰克2612B数字源表

 技术指标适用的条件

本文介绍了2601B、2602B和2604B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些技术 指标是测试2601B、2602B和2604B依据的标准。在出厂时,2601B、2602B和2604B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用作有 效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。

这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2601B、2602B和2604B)或数字源表CHANNEL B(2602B和2604B)终端。
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
100 mV5 μV0.02% + 250 μV20 μV
1 V50 μV0.02% + 400 μV50 μV
6 V50 μV0.02% + 1.8 mV100 μV
40 V500 μV0.02% + 12 mV500 μV

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。
仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
大输出功率和源/宿极限3:每通道大40.4W。±40.4V@ ±1.0A,±6.06V@ ±3.0A,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声:10Hz~20MHz:<20mV 峰-峰值(典型值),<3mV RMS(典型值),6V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,大电流 极限/柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。电流 < 10mA。

电流源技术指标

电流编程精度

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
100 nA2 pA0.06% +100 pA5 pA
1 µA20 pA0.03% +800 pA25 pA
10 µA200 pA0.03% + 5 nA60 pA
100 µA2 nA0.03% + 60 nA3 nA
1 mA20 nA0.03% +300 nA6 nA
10 mA200 nA0.03% + 6 µA200 nA
100 mA2 µA0.03% + 30 µA600 nA
1 A 520 µA0.05% + 1.8mA70 µA
3 A 520 µA0.06% + 4 mA150 µA
10 A 5, 6200 µA0.5% + 40 mA (典型值) 

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7:±(0.15 × 精度指标)/°C。
大输出功率和源/宿极限8:每通道大40.4W。±1.01A @ ±40.0V,±3.03A @ ±6.0V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限(柔度)。小值10 mV。精度与电压源 相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;其他测试条件,参见 “电流源输出稳定时间”部分)。

其它电源技术指标

瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间 <70μs。
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的 时间。
100mV,1V量程:典型值<50μs
6V量程:典型值<100μs
40V量程10:典型值<150μs
电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的 时间。下列值适用于Iout × Rload = 1V,除非另行说明。
3A量程:典型值<80μs(电流小于2.5A,Rload >2Ω) 1A–10mA量程:典型值<80μs(Rload >6Ω)
1mA量程:典型值<100μs
100μA量程:典型值<150μs
10μA量程:典型值<500μs
1μA量程:典型值<2.5ms
100nA量程:典型值<25ms
直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平zui高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11:
HI和SENSE HI之间的大电压=3V
LO和SENSE LO之间的大电压=3V

电压输出净空:
40V量程:大输出电压=42V – 电源引线上的总压降 (每条电源引线大1Ω)
6V量程:大输出电压=8V – 电源引线上的总压降 (每条电源引线大1Ω)
过温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个 100kΩ负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload (典型值,源稳定时间 设置为SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间” 部分。

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
4. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极*程的 0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
9. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和 极限设定值的±0.02%。对于100mV量程,要额外增加60mV的不确定值。
10. 当在1A量程下测量时,要增加150μs。
11. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标

区域大电流极限大脉宽12大占空比13
11 A @ 40 VDC,无限制100%
13 A @ 6 VDC,无限制100%
21.5A @ 40 V100ms25%
35 A @ 35 V4 ms4%
410 A @ 20 V1.8ms1%

小可编程脉宽14,15:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的 小脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率:1μs。
脉宽编 程精度 15:±5μs。
脉宽抖 动:2μs(典型值)。
象限图:

12. 从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。

13.在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
14.小稳定脉宽的典型性能:

 

电源大小负载电源稳定
(量程的%)
小脉宽
6 V2 Ω0.2%150 µs
20 V2 Ω1%200 µs
35 V7 Ω0.5%500 µs
40 V27 Ω0.1%400 µs
1.5 A27 Ω0.1%1.5 ms
3 A2 Ω0.2%150 µs
5 A7 Ω0.5%500 µs
10 A2 Ω0.5%200 µs

通常采用远端操作、4线检测和*、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。

15.从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。

仪表技术指标

电压测量精度16,17

量程默认显示
分辨率 18
输入电阻精度(1年)
23°C ±5° C
±(% rdg. + 伏特数)
100 mV100 nV>10 GΩ0.015% + 15 0μV
1 V1 μV>10 GΩ0.015% + 20 0 μV
6 V10 μV>10 GΩ0.015% + 1 mV
40 V10 μV>10 GΩ0.015% + 8 mV

温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)19:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

电流测量精度 17

量程默认显示分辨率 20电压负荷 21精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
100 nA100 fA<1 mV0.05% + 100 pA
1 µA1 pA<1 mV0.025% +500 pA
10 µA10 pA<1 mV0.025% + 1.5 nA
100 µA100 pA<1 mV0.02% + 25 nA
1 mA1 nA<1 mV0.02% + 200 nA
10 mA10 nA<1 mV0.02% + 2.5 µA
100 mA100 nA<1 mV0.02% + 20 µA
1 A1 µA<1 mV0.03% + 1.5 mA
3 A1 µA<1 mV0.05% + 3.5 mA
10 A 2210 µA<1 mV0.4% + 25 mA (典型值)

电流测量稳定时间(在V 之后测量稳定的时间)23: 在固定量程上处理电源设 step 命令后达到终值0.1%所需的时间。Vout=1V,除非另行说明。电流量程:1mA。 out 时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)24: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用普通模式,不适用于高电容模式。

接触检查25(不适合2604B)

速度60Hz(50Hz)下到
存储器的大测量时间
精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 欧姆数)
FAST1 (1.2) ms5% + 10Ω
MEDIUM4 (5) ms5% + 1 Ω
SLOW36 (42) ms5% + 0.3Ω

其它仪表技术指标

大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。
高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ

16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17 .对于NPLC设置<1,要通过增加误差项降低精度指标。根据下表适当 增加量程值的百分比。

NPLC设置100mV
量程
1V–40V
量程
100nA
量程
1µA–100mA
量程
1A–3A
量程
0.10.01%0.01%0.01%0.01%0.01%
0.010.08%0.07%0.1%0.05%0.05%
0.0010.8%0.6%1%0.5%1.1%

18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为100mV或1V量程。
22. 10A量程仅适用于脉冲模式。
23. 柔度等于100mA。
24. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
25. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO的接触电阻。

高电容模式26,27,28

电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到终值的0.1% 所需的时间。电流极限=1A。

电压源量程

Cload =4.7μF的稳定时间

100 mV

200 μs (典型值)

1 V

200 μs (典型值)

6 V

200 μs (典型值)

40 V

7 ms (典型值)

电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到终值的0.1%所需 的时间。下列值适用于Vout=1V,除非另行说明。

电压源量程

稳定时间

3 A – 1 A

<120 μs(典型值) (Rload > 2Ω)

100 mA – 10 mA

<100 μs (典型值)

1 mA

< 3 ms (典型值)

100 μA

< 3 ms (典型值)

10 μA

< 230 ms (典型值)

1 μA

< 230 ms (典型值)

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能29: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。

模式改变延迟:

100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:100GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(6V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲:典型值<400mV + 较大量程的0.1%。过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。

26. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
27. 100nA量程不适用于高电容模式。
28. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
29. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制(背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。 (不适用2604B)
线缆类型:5e类线或更的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.2
LXI时序:总输出触发响应时间:小值为245μs ,典型值为280μs ,(不 大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]事件延迟: 未知。
数字I/O接口(不适用2604B)

接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
大输入电压:5.25V
小输入电压:-0.25V
大逻辑低输入电压:0.7V,大+850μA
小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
大宿电流@大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA(不适用2604B)。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(大值6V) 到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳 地。当INTERLOCK信号<0.4V时(小值-0.4V),200V操作将会被 阻塞。如下图所示:

USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时, 一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in × 17 ½ in )。
台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in× 9⅜ in × 17 ½ in )。
重量:2601B:4.75kg (10.4 lbs),2602B,2604B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。
海拔:高于海平面大2000米。
工作:0°–50°C,70% R.H.zui高35°C。降低3% R.H./°C,35°–50°C。
存储:–25°C 到 65°C。

技术指标适用的条件

本文介绍了2611B,2612B和2614B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2611B,2612B和2614B依据的标准。在出厂时,2611B,2612B和 2614B符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用 作有效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2611B,2612B和 2614B)或数字源表CHANNEL B(2612B和2614B)终端:
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

 

电压源技术指标

电压编程精度1

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
200mV5 µV0.02% +375 µV20 µV
2 V50 µV0.02% +600 µV50 µV
20 V500 µV0.02% + 5 mV300 µV
200 V5 mV0.02% + 50 mV2 mV

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
大输出功率和源/宿极限3:每通道大30.3W。±20.2V@ ±1.5A,±202V@± 100 mA,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz~20MHz:典型值<20mV(峰-峰值),典型值<3mV RMS(有效值), 20V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,大电流 极限 /柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。(电流 < 10mA)。

电流源技术指标

电流编程精度5

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
100 n A2 p A0.06% + 100 p A5 p A
1μA20 p A0.03% + 800 p A25 p A
10μA200 p A0.03% + 5 n A60 p A
10 0μA2 n A0.03% + 60 n A3 n A
1 m A20 n A0.03% + 300 n A6 n A
10m A200 n A0.03% + 6 μA200 n A
100m A2 μA0.03% + 30μA600 n A
1 A 620 μA0.05% +1.8 m A70 μA
1.5 A 650 μA0.06% + 4 m A150μA
10 A 6,7200μA0.5% + 40 m A (典型值) 

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)8:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
大输出功率和源/宿极限9:每通道大30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @ ±200V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度10: 单值设置双极电压极限(柔度)。小值20 mV。精度与电压源 相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;其他测试条件,参见 “电流源输出稳定时间”部分)。

其它电源技术指标

瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。 电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的时间。

量程

稳定时间

200 mV

<50 μs (典型值)

2 V

<50 μs (典型值)

20 V

<110 μs (典型值)

200 V

<700 μs (典型值)

电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的时间。 下列值适用于Iout × Rload = 2V,除非另行说明。

电流量程

稳定时间

1.5 A – 1 A

<120 μs (典型值) (Rload > 6)

100 mA – 10 mA

<80 μs (典型值)

1 mA

<100 μs (典型值)

100 μA

<150 μs (典型值)

10 μA

<500 μs (典型值)

1 μA

<2 ms (典型值)

100 μA

<20 ms (典型值)

直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平zui高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11
HI和SENSE HI之间的大电压=3V
LO和SENSE LO之间的大电压=3V

电压输出净空:
200V量程:大输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线大 1Ω)
20V量程:大输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线大 1Ω)
超温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个200kΩ 负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload(典型值,源稳定时间设置为 SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分。

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
4.对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极*程的0.06%。 技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时,每°C精度降低Vout/2E11;在<18°C或 >28°C工作时,每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15・Vout/2E11)。
6.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
7.10A量程仅适用于脉冲模式。
8. 高电容模式精度仅适用于23°C ±5°C。
9.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
10.对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限 设定值的±0.02%。对于200mV量程,要额外增加120mV的不确定值。
11.对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标

区域大电流极限大脉宽12大占空比13
1100m A @ 200 VDC, 无限制100%
11.5 A @ 20 VDC, 无限制100%
21 A @ 180 V8.5 ms1%
3141 A @ 200 V2.2 ms1%
410 A @ 5 V1 ms2.2%

小可编程脉宽15,16:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的小 脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率:1μs。
脉宽编 程精度 15:±5μs。
脉宽抖动:2μs(典型值)。

13.在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
14. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
15. 小稳定脉宽的典型性能:

电源大小  负载电源稳定
(量程的%)
小脉宽
5 V0.5Ω1%300 µs
20 V200 Ω0.2%200 µs
180 V180Ω0.2%5 ms
200 V (极限1.5 A)200 Ω0.2%1.5 ms
100 mA200 Ω1%200 µs
1 A200 Ω1%500 µs
1 A180Ω0.2%5 ms
10 A0.5Ω0.5%300 µs

通常采用远端操作、4线检测和*、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。

仪表技术指标

电压测量精度 17, 18

量程默认显示分辨率19输入电阻精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
200 mV100 nV>10 GΩ0.015% + 225 μV
2 V1 nV>10 GΩ0.02% + 350 μV
20 V10 nV>10 GΩ0.015% + 5 mV
200 V100 nV>10 GΩ0.015% + 50 mV

温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)20:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

电流测量精度 18, 21

量程默认显示分辨率22电压负荷23精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
100 nA100 fA<1 mV0.06% + 100 pA
1 µA1 pA<1 mV0.025% + 500 pA
10 µA10 pA<1 mV0.025% + 1.5nA
100 µA100 pA<1 mV0.02% + 25 nA
1 mA1 nA<1 mV0.02% + 200 nA
10 mA10 nA<1 mV0.02% + 2.5µA
100 mA100 nA<1 mV0.02% + 20 µA
1 A1 µA<1 mV0.03% + 1.5mA
1.5 A1 µA<1 mV0.05% + 3.5mA
10 A 2410 µA<1 mV0.4% + 25 mA (典型值)

电流测量稳定时间(在Vstep之后测量稳定的时间)25: 在固定量程上处理电源设置 命令后达到终值0.1%所需的时间。Vout= 2V,除非另行说明。电流量程:1mA。
稳定时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)26: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

接触检查27 (不适合2614B)

速度60Hz(50Hz)下到存储器的大测量时间精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 欧姆数)
FAST1 (1.2) ms5% + 10Ω
MEDIUM4 (5) ms5% + 1 Ω
SLOW36 (42) ms5% + 0.3Ω

其它仪表技术指标

大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ

17. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
18. 对于NPLC设置<1,要通过增加误差项来降低精度指标。根据下表适当增加量程值的百分比。

NPLC设置200mV
量程
2V–200V
量程
100nA
量程
1µA–100mA
量程
1A–1.5A
量程
0.10.01%0.01%0.01%0.01%0.01%
0.010.08%0.07%0.1%0.05%0.05%
0.0010.8%0.6%1%0.5%1.1%

19. 适用于单通道显示模式。
20. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
21.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时,每°C精度降低Vout/2E11;在<18°C 或>28°C工作时,每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15·Vout/2E11)。
22. 适用于单通道显示模式。
23. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
24. 10A量程仅适用于脉冲模式。
25. 柔度等于100mA。
26. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
27. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻

高电容模式 28, 29, 30

电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到终值的0.1%所需的 时间。电流极限=1A。

电压源量

Cload =4.7μF的稳定时间

200 mV

600 μs (典型值)

2 V

600 μs (典型值)

20 V

1.5 ms (典型值)

200 V

200 ms (典型值)

电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到终值的0.1%所需的时间。 下列值适用于Vout=2V,除非另行说明。

电流量程

稳定时间

1.5 A – 1 A

<120 μs (典型值) (Rload > 6Ω)

100 mA – 10 mA

<100 μs (典型值)

1 mA

< 3 ms (典型值)

100 μA

< 3 ms (典型值)

10 μA

< 230 ms (典型值)

1 μA

< 230 ms (典型值)

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。
模式改变延迟:
100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:30GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(20V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲(用于20V量程以下):典型值<400mV + 较大量程的0.1%。
过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。

28. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
29. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
30. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
31. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制 (RTS/CTS硬件或没有)可编程。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和 通信。(不适用2634B)
线缆类型:5e类线或更的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.4
LXI时序:总输出触发响应时间:小值为245μs ,典型值为280μs , (不大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]
事件延迟:未知。
数字I/O接口(不适用2634B)

接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
大输入电压:5.25V
小输入电压:-0.25V
大逻辑低输入电压:0.7V,大+850μA
小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
大宿电流@大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(大值6V)到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<0.4V时(小值-0.4V),200V操作将会被阻塞。如下图所示:

USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时,一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in × 17½ in )。
台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in× 9⅜ in × 17½ in )。
重量:2635B:4.75kg (10.4 lbs),2634B,2635B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。海拔:高于海平面大2000米。
工作:0°- 50°C,70% R.H.zui高35°C。降低3% R.H./°C,35°– 50°C。
存储:–25°C 到 65°C。

技术指标适用的条件

本文介绍了2634B,2635B和2636B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2634B,2635B和2636B依据的标准。在出厂时,2634B,2635B和2636B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用作有效 信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2634B,2635B和 2636B)或数字源表CHANNEL B(2635B和2636B)终端:
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1>

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
200 mV5 µV0.02% + 375 µV20 µV
2 V50 µV0.02% +600 µV50 µV
20 V500 µV0.02% + 5 mV300 µV
200 V5 mV0.02% + 50 mV2 mV

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
大输出功率和源/宿极限3:每通道大30.3W。±20.2V@ ±1.5A,±202V@±100 mA,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz~20MHz:典型值<20mV(峰-峰值),典型值<3mV RMS(有效值),20V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。小值100pA。精度与电流源相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,大电流极限/柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。(电流 < 10mA)。

电流源技术指标

电流编程精度

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. +安培数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
1 nA20 fA0.15% + 2 pA800 fA
10 nA200 fA0.15% + 5 pA2 pA
100 nA2 pA0.06% + 50 pA5 pA
1 µA20 pA0.03% +700 pA25 pA
10 µA200 pA0.03% + 5 nA60 pA
100 µA2 nA0.03% + 60 nA3 nA
1 mA20 nA0.03% +300 nA6 nA
10 mA200 nA0.03% + 6μA200 nA
100mA2 µA0.03% + 30μA600 nA
1 A 520 µA0.05% +1.8 mA70μA
1.5 A 550 µA0.06% + 4 mA150μA
10 A 5, 6200 µA0.5% + 40 mA (典型值) 

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
大输出功率和源/宿极限8:每通道大30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @±200V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限(柔度)。小值20 mV。精度与电压源相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;大电流极限/柔度。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分)。

其它电源技术指标

瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的时间。

量程

稳定时间

200 m V

<50 μs (典型值)

2 V

<50 μs (典型值)

20 V

<110 μs (典型值)

200 V

<700 μs (典型值)

电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的时间。下列值适用于Iout× Rload = 2V,除非另行说明。

电压源量程

稳定时间

1.5 A – 1 A

<120 μs(典型值) (Rload > 2Ω)

100 mA – 10 mA

<80 μs (典型值)

1 mA

<100 μs (典型值)

100 μA

<150 μs (典型值)

10 μA

<500 μs (典型值)

1 μA

<2 ms (典型值)

100 μA

<20 ms (典型值)

10 μA

<40 ms (典型值)

1 μA

<150 ms (典型值)

直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平zui高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围10:
HI和SENSE HI之间的大电压=3V
LO和SENSE LO之间的大电压=3V

电压输出净空:
200V量程:大输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线大1Ω)
20V量程:大输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线大1Ω)
超温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个200kΩ负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload(典型值,源稳定时间设置为SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分。

脉冲技术指标

区域大电流极限大脉宽11大占空比12
1100 m A @ 200 VDC, 无限制100%
11.5 A @ 20 VDC, 无限制100%
21 A @ 180 V8.5 m s1%
3131 A @ 200 V2.2 m s1%
410 A @ 5 V1 m s2.2%

小可编程脉宽14,15:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的小脉宽可以大于100μs。
脉宽编程分辨率:1μs。
脉宽编程精度15:±5μs。
脉宽抖动:50μs(典型值)。

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
4. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极*程的0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它 功率下降信息。
9. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限设定值的±0.02%。对于200mV量程,要额外增加120mV的不确定值。
10. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
11. 从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。

12. 在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
13. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
14. 小稳定脉宽的典型性能:

电源大小  负载电源稳定
(量程的%)
  小脉宽
5 V0.5Ω1%300 µs
20 V200Ω0.2%200 µs
180 V180Ω0.2%5 ms
200 V (极限1.5 A)200Ω0.2%1.5 ms
100 mA200Ω1%200 µs
1 A200Ω1%500 µs
1 A180Ω0.2%5 ms
10 A0.5Ω0.5%300 µs

通常采用远端操作、4线检测和*、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。

仪表技术指标

电压测量精度 16, 17

量程默认显示分辨率18输入电阻精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
200 mV100 nV>1014 Ω0.015% + 225 µV
2 V1 µV>1014 Ω0.02% + 350 µV
20 V10 µV>1014 Ω0.015% + 5 mV
200 V100 µV>1014 Ω0.015% + 50 mV

温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)19:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。

电流测量精度 17

量程默认显示分辨率20电压负荷21精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
*100 pA 22, 230.1 fA<1 mV0.15% + 120 fA
1 nA 22, 241 fA<1 mV0.15% + 240 fA
10 nA10 fA<1 mV0.15% + 3 pA
100 nA100 fA<1 mV0.06% + 40 pA
1 µA1 pA<1 mV0.025% + 400pA
10 µA10 pA<1 mV0.025% + 1.5nA
100 µA100 pA<1 mV0.02% + 25 nA
1 mA1 nA<1 mV0.02% + 200 nA
10 mA10 nA<1 mV0.02% + 2.5 µA
100 mA100 nA<1 mV0.02% + 20 µA
1 A1 µA<1 mV0.03% + 1.5 mA
1.5 A1 µA<1 mV0.05% + 3.5 mA
10 A 2510 µA<1 mV0.4% + 25 mA

* 100 pA量程不适用于2634B型。
电流测量稳定时间(在Vstep之后测量稳定的时间)26: 在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的时间。Vout= 2V,除非另行说明。电流量程:1mA。稳定时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)27: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。

接触检查28 (不适合2634B)

速度60Hz(50Hz)下到存储器的大测量时间精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 欧姆数)
FAST1 (1.2) ms5% + 10Ω
MEDIUM4 (5) ms5% + 1 Ω
SLOW36 (42) ms5% + 0.3Ω

其它仪表技术指标

大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>1014Ω

16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17. 对于NPLC设置<1,要通过增加误差项来降低精度指标。根据下表适当增加量程值的百分比。

NPLC设置200mV
量程
2V–200V
量程
100nA
量程
1µA–100mA
量程
1A–1.5A
量程
0.10.01%0.01%0.01%0.01%0.01%
0.010.08%0.07%0.1%0.05%0.05%
0.0010.8%0.6%1%0.5%1.1%

18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
22. 10-NPLC,11点中值滤波器,量程<200V,在调零后1小时内进行测量,23°C±1°C。
23. 在默认的指标条件下:±(0.15% + 750fA)。
24. 在默认的指标条件下:±(0.15% + 1pA)。
25. 10A量程仅适用于脉冲模式。
26. 延迟因数设置为1。柔度等于100mA。
27. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
28. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻

高电容模式29, 30, 31

电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到终值的0.1%所需的时间。电流极限=1A。

电压源量程

Cload =4.7μF的稳定时间

200 mV

600 μs (典型值)

2 V

600 μs (典型值)

20 V

1.5 ms (典型值)

200 V

20 ms (典型值)

电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到终值的0.1%所需的时间。下列值适用于Vout=2V,除非另行说明。

电压源量程

稳定时间

1.5 A – 1 A

<120 μs(典型值) (Rload > 6Ω)

100 mA – 10 mA

<100 μs(典型值)

1 mA

< 3 ms(典型值)

100 μA

< 3 ms(典型值)

10 μA

< 230 ms (典型值)

1 μA

< 230 ms (典型值)

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。
模式改变延迟:
100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:30GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(20V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲(用于20V量程以下):典型值<400mV + 较大量程的0.1%。
过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。

29. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
30. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
31. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
32. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制(RTS/CTS硬件或没有)可编程。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。(不适用2634B)
线缆类型:5e类线或更的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.4
LXI时序:总输出触发响应时间:小值为245μs ,典型值为280μs ,(不大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]事件 延迟:未知。
数字I/O接口:(不适用2634B)

接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
大输入电压:5.25V
小输入电压:-0.25V
大逻辑低输入电压:0.7V,大+850μA
小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
大宿电流@大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(大值6V)到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<0.4V时(小值-0.4V),200V操作将会被阻塞。如下图所示:

USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时,一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in× 17½ in )。台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in × 9⅜ in × 17½ in )。
重量:2635B:4.75kg (10.4 lbs),2634B,2635B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。海拔:高于海平面大2000米。
工作:0°–50°C,70% R.H.zui高35°C。降低3% R.H./°C,35°–50°C。
存储:–25°C 到 65°C。

适用于2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B, 2635B和2636B。

测量速度指标 1, 2, 3

60Hz(50Hz)下大扫描操作速度(每秒操作次数):

A/D转换器速度触发地使用用户脚本
对存储器进行
测量
使用用户脚本
对GPIB进行
测量
使用用户脚本
对存储器进行
源测量
使用用户脚本
对GPIB进行
源测量
使用扫描API
对存储器进行
测量
使用扫描API
对GPIB进行
测量
0.001 NPLC内部20000 (20000)10500 (10500)7000 (7000)6200 (6200)12000 (12000)5900 (5900)
0.001 NPLC数字I/O8100 (8100)7100 (7100)5500 (5500)5100 (5100)11200 (11200)5700 (5700)
0.01 NPLC内部5000 (4000)4000 (3500)3400 (3000)3200 (2900)4200 (3700)3100 (2800)
0.01 NPLC数字I/O3650 (3200)3400 (3000)3000 (2700)2900 (2600)4150 (3650)3050 (2775)
0.1 NPLC内部580 (490)560 (475)550 (465)550 (460)575 (480)545 (460)
0.1 NPLC数字I/O560 (470)450 (460)545 (460)540 (450)570 (480)545 (460)
1.0 NPLC内部59 (49)59 (49)59 (49)59 (49)59 (49)59 (49)
1.0 NPLC数字I/O58 (48)58 (49)59 (49)59 (49)59 (49)59 (49)

60Hz(50Hz)下大单测量速度(每秒操作次数):

A/D转换器速度触发地触发地对GPIB进行测量对GPIB进行源测量GPIB源测量
通过/故障
0.001 NPLC内部1900 (1800)1400 (1400)1400 (1400)
0.01 NPLC内部1450 (1400)1200 (1100)1100 (1100)
0.1 NPLC内部450 (390)425 (370)425 (375)
1.0 NPLC内部58 (48)57 (48)57 (48)

大量程改变速度:当量程>10μA时,典型值<150μs。当改变量程使得量程≥1A或者从≥1A量程变为其他量程时,大速度典型值<450μs。
大源量程改变速度:当量程>10μA时,典型值<2.5ms。当改变量程使得量程≥1A或者从≥1A量程变为其他量程时,大速度典型值<5.2ms。
大源函数改变速度:典型值<1ms。
命令处理时间:在收到smux .source .levelv 或smux .source .leveli 命令后,输出开始变化所需的大时间典型值<1ms。

1. 在下列配置下利用2602B、2612B和 2636B对通道A进行测试:PC硬件(Pentium® 4 2.4GHz、512MB RAM、National InstrumentsPCI-GPIB)。驱动(NI-486.2 Version 2.2 PCI-GPIB)。软件(Microsoft® Windows® 2000、Microsoft® Visual Studio 2005、VISA version 4.1)。
2. 除了电流量程小于1mA。
3. 2635B/2636B采用默认测量延迟,禁用滤波器

触发与同步技术指标 1

触发:
触发输入到触发输出:0.5μs,典型值。
触发输入到源改变2:10μs,典型值。
触发定时精度:±2μs,典型值。
LXI触发之后源改变2:280μs,典型值。

同步:
单节点同步的源改变4:<0.5μs,典型值
多节点同步的源改变4:<0.5μs,典型值

1. TSP-Link不适用于2604B、2614B和 2634B。
2. 固定源改变,没有极性变化。

适用于2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B, 2635B和2636B。

补充说明

面板界面:双线真空荧光显示器(VFD),带小键盘和旋转按钮。

显示:

  • 显示出错信息和用户定义信息
  • 显示源和极限设置信息
  • 显示电流和电压测量
  • 查看存储在读数缓冲区中的测量数据

小键盘操作:

  • 改变主界面设置
  • 保存和恢复仪器设置
  • 加载并执行厂商和用户定义的测试脚本(即测试序列), 提示输入信息,并将结果发送到显示器
  • 将测量数据保存到读数缓冲区

编程:可从任意主机接口访问嵌入式测试脚本处理器(TSP)。响应各条仪器控制

命令。响应由仪器控制命令和测试脚本语言(TSL)语句(例如分支、循环、数学)组成的高速测试脚本。无需主机干预,能够执行存储在存储器中的高速测试脚本。

小可用存储容量:16MB(约250000行TSL代码)。
Test Script Builder:用于构建、执行和管理TSP脚本的集成开发环境。包括一个仪器控制台,能够通过交互式方式与任意支持TSP功能的仪器通信。需要:

  • VISA(CD上包括NI-VISA)
  • Microsoft .NE Framework(CD内提供)
  • 吉时利I/O层(CD内提供)
  • Pentium III 800MHz或更快的个人电脑
  • Microsoft® Windows® 98、NT、2000或XP

软件接口:TSP Express (嵌入式)、Direct GPIB/VISA、READ/WRITE,利用VB、VC/C++、LabVIEW、LabWindows/CVI等读写
读数缓冲器:为测量数据留有存储区域。读数缓冲器是测量单元阵列。每个单元可以包含以下几项:

  • 测量
  • 测量状态
  • 时标
  • 源设置(测量进行的时候)
  • 量程信息

每个数字源表通道保留两个读缓冲器。可通过面板的STORE键填充读缓冲器,通过RECALL键或主机接口进行检索。
缓冲器大小,带时标和源设置:>60000个样本
缓冲器大小,不带时标和源设置:>140000个样本
系统扩展:通过TSP-Link扩展接口,所有支持TSP功能的仪器都可以相互触发和通信。如下图所示:

每台数字源表具有两个TSP-Link接头,以便于将仪器链接在一起。

  • 一旦数字源表通过TSP-Link互连在一起,计算机就可以通过任一数字源表 的主接口,访问每台数字源表的所有资源。
  • 多32个TSP-Link节点可以互连在一起。每台数字源表占用一个TSP-Link 节点。

定时器:带1MHz输入时钟自由计数的47位计数器。每次仪器加电时复位。每隔4年循环一次。
时标:当触发每个仪器时,TIMER值自动保存。
分辨率:1μs
精度:±100ppm

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