泰克6487皮安表

泰克6487皮安表

5位半6487皮安表/电压源提高 了备受赞誉6485的测量能力，并增 加了500V的高分辨率源。它具有比 6485更高的准确度和更快的上升时 间，以及配合容性元件使用的阻尼 功能。这款经济有效的仪器具有8 个电流测量量程和高速自动量程功 能，可以测量20fA-20mA的电流，其 测量速度达到1000读数/秒，并且输 出200μV-505V的电压。

6487的10fA分辨率、的灵 敏度、电压扫描以及交变电压的电 阻测量使其非常适合于低电流器件 的特性分析。尽管它使用了的 电流测量技术，但它仍比类似功能 的其它仪表[例如光功率计、垓欧姆 表（tera-ohmmeter）、皮安表竞争 产品或用户设计的方案]便宜得多。 由于6487相当于一台数字万用 表的价格，所以基本上任何实验室或生产车间都能负担得起用6487进行皮安级测量。

主要特点:

• 10fA分辨率
• 5位半分辨率
• <200μV输入压降
• 交变电压法测量电阻
• 自动电压扫描，用于I-V特性分析
• 浮地测量至500V
• 达1000读数/秒
• 内建486和487型仿真模式
• IEEE-488和RS-232接口
• 模拟输出
• 数字I/O

应用

• 电阻值/电阻率测量
• 波束监测与放射监测
• 绝缘体、开关、继电器和其它元件 的漏流测试
• 半导体和光电器件的I-V特性分析
• 光纤校准DCLF电路中的电路测试与分析
• 传感器特性分析

较低的输入压降和较高的准确度

数字万用表一般使用分流电表电路测量电流，而6487是一款反馈式皮安表。此设 计将输入压降（voltage burden）减少了几个数量级，使较低测量量程上的输入压降 低于200μV。较低的输入压降使6487的功能比数字万用表更象一个理想的安培计，所 以即使在输出电压极低的电路中，它也能实 现高准确度的电流测量。

4*电压源分辨率：

6487构建在吉时利的一款皮 安表（487型）的强大功能之上，增加了20mA 测量量程并且极大提高了测量速度，达到 1000读数/秒。它用内建电压扫描功能和用 于高阻的交变电压法简化了器件特性分析。 带时间标记的3000读数数据缓冲器提供 小、大和标准差统计。内建仿真模式可以 用编写的487控制代码来控制6487。

扩展测试和测量灵活性的特点

• 直接电阻测量。优化用于50Ω-5×1014Ω的电阻，使用输出电压/测量电流法。
• 交变电压法测量电阻。此方法改进了具有高背景电流或高噪声器件的电阻测量。 它扩展了可测量电阻范围至1016Ω。
• 500V过载保护。这种高负载保护和坚固耐用的设计让6487耐受过量溢出，包括 偶然将电压源直接短路至电流表。

后面板三同轴输入。这允许皮安表浮地工作达500V。当不浮地时，增加三同 轴至BNC适配器允许使用便宜、易用的BNC电缆，无需使用更贵的三同轴电缆。
• RS-232和IEEE-488接口。这些接口能轻松将6487集成进自动测试和测量系 统中。
• 按比例的电压模拟输出。此输出允许6487发送测量结果至DMM、数据采集 卡、示波器或长图记录仪等设备。
• 内建触发链路接口。触发链路接口简化了6487与其它仪器及电压源的同步。此接口在单个连接器上结合了6种单独可选的触发线路以便轻松、直接地控 制系统中的全部仪器。
• 显示on/off开关。对于光敏器件的研究，例如测量光电二极管的暗电流或未封装二极管的I-V测量，可以关闭前面板显示以防引入光线而使测量结果的准 确性大幅降低。
• 一键式前面板设计。按一次按钮就能轻松配置功能，无需复杂的功能菜单。

宽范围的低电流应用

晶圆级光电二极管测试
6487型皮安表/电压源能配合校准光源与探针夹具使用以创建经济有效的 光电二极管测试系统。多台6487可以连接至DUT的探测垫以提供光电流读数， 或者随着增加开关矩阵，一台皮安表就能从多个探测垫测量电流。测量过程的 第yi步*在黑暗中进行，6487生成一个电压扫描，然后测量产生的暗电流。 在第二步中，随着校准步骤中的亮度级增加，施加电压偏置并测量产生的光电 流。相同的基本测试配置可用于测试正-本征-负（PIN）二极管和雪崩光电二极管 （APD）。6487在10V输出量程的高分辨率在要求较小偏置时具有优秀的扫描和偏 置功能。500V的输出能力是为APD提供偏压所必需的

监测和控制聚焦的离子束电流

在半导体制造中，聚焦离子束系统常用于纳米级成像、微加工和测图。重要的是，用 离子检测器仔细监测离子束电流的幅度。离子束产生的次生电流与主离子束的电流成比 例。当测量次生电流时，它能用于控制主离子束的强度。然而，次生电流非常微弱，通常只 有几个皮安，因此测量仪表必需具有很高的测量准确度和可重复性，以及皮安级以下的 分辨率。6487的宽测量范围和5位半分辨率使其非常适合于此应用。通过6487的三同轴连 接器实现6487的信号连接。通常，检测器可能需要高电压吸引离子，因而必需使用6487的 500V输出。

高阻测量

6487皮安表适合在绝缘电阻测试等应 用中测量高电阻（>1GΩ）。一个恒定的电压 与未知电阻和皮安表串联。皮安表的压降可 以忽略，因此全部压降出现在未知电阻上。 产生的电流被皮安表测量并且使用欧姆定律 （R=V/I）计算出电阻值。为了防止静电干扰 产生的电流，未知电阻封装在屏蔽测试装置 中。如果未知电阻器具有较大寄生电容，可 以增加一个小的串联电阻器以降低噪声。

何时需要使用皮安表?

测量低电平直流电流需要的功 能往往远超过数字万用表（DMM） 具有的功能。一般地说，DMM的灵 敏度不足以测量100nA以下的电 流。即便在较高的电流上，DMM的 输入压降（voltage burden）达 到几百毫伏，因此不能准确测量电 流。静电计能非常准确地测量低电 流，但是测量极低电流所需的电路 加上电压、电阻和电荷测量等功能 会极大增加静电计的成本。6487型 皮安表/电压源结合了DMM的经济易 用性以及接近静电计的微电流灵 敏度。

泰克6487皮安表

性能指标

温度系数：0°C-18°C&28°C–50°C。对于每°C，增加0.1×（%读数+偏移）至准确度指标。
输入压降：<1mV@20mA量程，<200μV@其它量程。
大输入电容：稳定至10nF@所有nA量程和2μA量程；1μF@20μA和200μA量程以及mA量程。
大连续输入电压：505VDC。
NMRR：（50Hz或60Hz）：60dB。
隔离（电流表共用或电压源至机箱）：典型地，>1×1011Ω，同时<1nF。
大共模电压（机箱与电压源或电流表之间）：505VDC。
模拟输出：按比例电压输出（反转在全部量程上的2V满刻度）：2.5%±2mV。
模拟输出阻抗：<100Ω，DC-2kHz。
电压源：

可选电流极限：2.5mA、250μA、25μA用于50V和500V量程，25mA附加极限用于10V量程。所有电流极限是 标称值的–20%/+35%。
宽带噪声9：<30mVp-p 0.1Hz-20MHz。
时间稳定度典型值：±（0.003%+1mV）在24小时内稳定在恒温（在1°C内，在18°C-28°C范围，5分钟稳定 之后）。
输出电阻：<2.5Ω。
电压扫描：支持固定源量程上的线性电压扫描，每台阶测量一次电流或电阻。
大扫描速率：200台阶/秒。大台阶数3000。台阶和测量之间的可选延迟。
电阻测量（V/I）：配合电压源使用，根据电压设置和测量的电流计算电阻。
准确度基于电压源准确度和电流表准确度。准确度典型值优于0.6%，对于1kΩ-1TΩ的读数。
交变电压电阻测量：提供交变电压电阻测量用于109Ω-1015Ω范围的电阻。交替在0V和用户可选电压（zui 高达±505V）之间。

注解

1.在1PLC - 在此条件下限于60读数/秒。
2.在6PLC，1标准差，100读数，滤波器关，防护罩输入 - 在此条件下，限于10读数/秒。
3.在模拟输出和阻性负载>2kΩ下进行测量。
4.大上升时间可达25%或更高。
5.准确度不包括输出电阻/负载调节。
6.上升时间从0V至±满刻度电压（提高幅度）。
7.下降时间从±满刻度电压至0V（降低幅度）。
8.对于容性负载，增加C•ΔV/I极限至上升时间，并且C•ΔV/1mA至下降时间。
9.测量时，LO连至机箱地。

IEEE-488总线实现：SCPI（IEEE-488.2、 SCPI-1996.0）；DDC（IEEE-488.1）。
语言仿真：吉时利486/487仿真，采用DDC模 式。
RS-232实现： 支持：SCPI 1996.0。
波特率：300、600、1200、2400、4800、 9600 、19.2k、38.4k、57.6k。
协议：Xon / Xoff、7bit 或 8bit ASCII、 奇/偶/无校验。
连接器：DB-9 TXD/RXD/GND。

电流表输入连接器：在后面板的3接线柱三同 轴。
模拟输出连接器：在后面板的双香蕉插座。
电压源输出连接器：在后面板的双香蕉插座。
互锁连接器：4针DIN。
触发线：可用，参见使用手册。
显示：12字符真空荧光显示。
数字滤波器：中位数和平均数（可选2-100读 数）。
量程：自动或手动。
自动量程时间：<250ms（模拟滤波器 关，1PLC）。
过量程指示：显示读数“OVRFLOW（溢出）”。
转换时间：可选0.01PLC-60PLC（50PLC，在 50Hz工作条件下）。（200μs-1s可调）
读数速度： 至内部缓冲器1000读数/秒。 至IEEE-488总线900读数/秒。
缓冲器：存储达3000读数。
程序：提供前面板访问IEEE地址，选择工程单 元或科学记数法以及数字校准。
EMC：符合欧盟指令89/336/EEC、EN61326-1。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC、EN61010-1 、CAT I。
工作环境：
工作条件：0°C-50°C，不凝结的相对湿 度70%，至35°C。35°C以上，湿度降低 3%/°C。
存储条件：-10°C-+65°C。
预热时间：1小时达到额定准确度（参见手册获 取推荐步骤）。
电源：100V-120V或220V-240V，50Hz-60Hz， （50VA）。
物理条件：
机箱尺寸：90毫米高×214毫米宽×369毫米深 （31/2in×83/8in×149/16in）。
工作尺寸：从机箱正面至背面包括电力线和
IEEE-488连接器：394毫米（15.5英寸）。
净重：<4.7千克（<10.3磅）。

注解：

1.0.01PLC，数字滤波关、前面板关、自稳零关。 2. 二进制传送模式。IEEE-488.1。 3. 测量从触发器至仪表完成。 综合说明 Measures low currents and high resistances quickly, accurately, and economically Low Level Measu re & Source