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Product Center当前位置:首页产品中心万用表&功率计&测温仪5.泰克2410泰克2410数字源表
泰克2410数字源表Keithley 2400 SourceMeter SMU 仪器Keithley 2400 系列 SMU 仪器提供四象限精密电压和电流源/负载,外加触摸屏用户界面上的测量。 这些仪器可同时提供 10 fA - 10 A 脉冲电流和/或 100nV - 200V 电压、1000W 脉冲和 100W 直流总功率的源和测量。
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应用领域 | 电子 |
泰克2410数字源表
吉时利数字源表系列于要求紧密结合源和测量 的测试应用。全部数字源表型号都提供精密电压源和电 流源以及测量功能。每款数字源表既是高度稳定的直流 电源也是真仪器级的6位半万用表。此电源的特性包括 低噪声、精密和回读。此万用表的功能包括可重复性高 和低噪声。终形成了紧凑、单通道、直流参数测试仪。 在工作时,这些仪器能用作电压源、电流源、电压表、电 流表和欧姆表。通信、半导体、计算机、汽车和医疗行业 的组件和模块制造商会发现吉时利数字源表是适于特 性分析和生产测试等广泛应用的重要源表。
主要特性:
典型应用
设备:
测试:
紧凑集成仪器的优点
通过在单台装置中连接源和测量电路,这些仪器能 提供多种优于单独的源和测量仪器构建的系统。例如, 它们极大地缩短了测试站开发,建立和维护所需的时 间,同时降低了购买系统的整体成本。通过去除与使用 多台仪器相关的复杂同步和连接问题,它们简化了测试 过程本身。而且,紧凑的半机架尺寸节省了测试架或测试台的宝贵“空间”。
集5种仪器功能于一体(IV源、IVR测量)
源测量仪器的精密耦合特点相对分立仪器具有许多优点。例如,它具有更短的测试时 间,通过减少GPIB的流量并简化了远程编程接口。它还保护被测设备在偶尔过载、热失控 等情况下不被损坏。电流源和电压源都可设置回读使器件测量完整性大化。如果回读 达到可编程容限的极限,那么该源就被钳位在此极限,从而提供错误保护。
I-V特性分析
所有数字源表均提供4象限工作。工作在第1和第3象*,作为电源向负载输出 功率。工作在第2和第4象*,作为阱(负载)吸收能量。在源或阱工作期间都能测 量电压、电流和电阻。
自动化以提高速度
吉时利数字源表提高了生产测试的效率。它 能在提供电压源或电流源的同时进行测量,无需 更改连接,因此适合于在不间断生产环境中可靠 地工作。为了提供生产应用所需的吞吐率要求, 数字源表具有许多内建功能因而能运行复杂的 测试序列,无需速度较低的计算机控制或GPIB通 信。
标准扫描和定制扫描
扫描方案采用自动化钩子(hook)极大加快 了测试。三种基本扫描波形可设置为单事件或连 续工作,因而非常适于I/V、I/R、V/L和V/R特性分 析。
内建测试定序仪(源存储器列表)
源存储器列表提供了更快捷、更方便的测试,您能设置和执行多达100种不同的测试并 能实现无PC干预的运行。
测试 | 通过/失效测试 | 如果测试通过 | 如果测试失败 |
测试 1 | 检查VF1在100mA的通过/失效界限 | 转到测试2 | 1. 将器件归为不合格 |
测试 2 | 检查VF2在1A的通过/失效界限 | 转到测试3 | |
测试 3 | 检查在-500V的漏电流并测试通过/失效界限 | 1. 将器件归为合格 |
数字I/O接口
数字I/O接口能将数字源表连接至许多流行的组件处理程序,包 括Aetrium、Aeco和Robotronics。此接口的其它功能包括:
触发链路接口
全部数字源表都包含吉时利专有的触发链路接口,能与许多吉 时利许多其它仪器建立高速、无缝的通信。例如,使用触发链路接口 连接数字源表和7000系列开关系统以实现完整的多点测试方案。在 独立于计算机和GPIB的高速测试序列过程中,通过触发链路,7000系 列开关系统可被数字源表控制。
可选接触检查功能
在自动测试序列开始之前,接触检查功能可以快捷、容易地验 证是否连接良好。这消除了由于接触疲劳、破损、玷污、松动或连接 中断、继电器故障等产生的测量误差和不真实的产品缺陷。此功能 的一些性能如下:
6线欧姆电路。因为大电流防护使R2两端电压为0V,所以全部测试电流通过R1。
*的6线电阻测量方法
数字源表能进行标准4线、分裂Kelvin以及6线、带防护的电阻测 量并且能配置为恒流或恒压方法。6线测量方法:
泰克2410数字源表
电压精度(本地或远端感测)
型号 | 量程 | 设置分辨率 | 电源 1 | 缺省测量分辨率 | 测量 2, 3, 4 准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压) | 输出转换速率 (±30%) | 源/阱极限 |
2400, 2401 | 200.000 mV | 5 µV | 0.02% + 600 µV | 1 µV | 0.012% + 300 µV | ±21 V @ ±1.05 A ±210 V @ ±105 mA* | |
2.00000 V | 50 µV | 0.02% + 600 µV | 10 µV | 0.012% + 300 µV |
| ||
20.0000 V | 500 µV | 0.02% + 2.4 mV | 100 µV | 0.015% + 1.5 mV | 0.08 V/µs | ||
200.000 V* | 5 mV | 0.02% + 24 mV | 1 mV | 0.015% + 10 mV | 0.5 V/µs | ||
2410 | 200.000 mV | 5 µV | 0.02% + 600 µV | 1 µV | 0.012% + 300 µV | ±21 V @ ±1.05 A ±1100 V @ ±21 mA | |
2.00000 V | 50 µV | 0.02% + 600 µV | 10 µV | 0.012% + 300 µV |
| ||
20.0000 V | 500 µV | 0.02% + 2.4 mV | 100 µV | 0.015% + 1 mV | 0.15 V/µs | ||
1000.00 V | 50 mV | 0.02% + 100 mV | 10 mV | 0.015% + 50 mV | 0.5 V/µs | ||
2420 | 200.000 mV | 5 µV | 0.02% + 600 µV | 1 µV | 0.012% + 300 µV | ±21 V @ ±3.15 A ±63 V @ ±1.05 A | |
2.00000 V | 50 µV | 0.02% + 600 µV | 10 µV | 0.012% + 300 µV |
| ||
20.0000 V | 500 µV | 0.02% + 2.4 mV | 100 µV | 0.015% + 1 mV | 0.08 V/µs | ||
60.0000 V | 1.5 mV | 0.02% + 7.2 mV | 1 mV | 0.015% + 3 mV | 0.14 V/µs | ||
2440 | 200.000 mV | 5 µV | 0.02% + 600 µV | 1 µV | 0.012% + 300 µV | ±10.5 V @ ±5.25 A ±42 V @ ±1.05 A | |
2.00000 V | 50 µV | 0.02% + 600 µV | 10 µV | 0.012% + 300 µV |
| ||
10.0000 V | 500 µV | 0.02% + 1.2 mV | 100 µV | 0.015% + 750 µV | 0.08 V/µs | ||
40.0000 V | 5 mV | 0.02% + 4.8 mV | 1 mV | 0.015% + 3 mV | 0.25 V/µs | ||
*Not available on 2401. |
NOTES
源指标附加说明(适用所有型号)
瞬时响应时间:当负载发生阶跃变化时,输出信号恢复到规定值的时间 为30μs(低要求)。
命令处理时间:接收到:SOURce:VOLTage|CURRent命令后,输出端开始变化所需的长时间。自动量程开:10ms。自动量程关:7ms。
输出稳定时间:命令处理和输出转换之后,达到终值0.1%的所需时间。100μs(典型值)。阻性负载。10μA至100mA量程。
直流浮地电压:输出端可以从机壳地电平上浮至±250VDC(2440型为±40VDC)。
远端感测:每条负载线的压降达1V。
嵌制准确度:在基本指标上量程增加0.3%并且读数增加±0.02%。
过温保护:如果内部检测到温度过载就将部件置为待机模式。
量程变化过冲:过冲至全阻性100kΩ负载,10Hz~1MHz带宽,相邻
量程:100mV(典型值),除了20V/200V(20V/60V,对于2420),20V/100V对于2425和2430,量程边界和和2440。
小嵌位值:量程的0.1%。
附加脉冲模式源指标(仅对2430和2430-C)
大占空比:8%,硬件限制,仅10A量程。所有其它量程为100%。
大脉冲宽度:5ms从90%上升沿至90%下降沿,2.5ms 10A量程。
小脉冲宽度:150μs。
小脉冲分辨率:50μs(典型值),70μs(大值)由系统抖动限制。
源精度:由稳定时间和源量程指标决定。
输出稳定时间0.1%:
800μs(典型值),电流源=10A至10Ω,被电压转换速率限制。
500μs(典型值),电流源=10A至1Ω,被电压转换速率限制。
输出转换速率:
电压(10Ω负载):0.25V/μs±30%在100V量程。0.08V/μs±30%在20V量程、10A量程。
电流(0Ω负载):0.25A/μs±30%在100V量程。0.08A/μs±30%在20V量程、10A量程。
注解:
1.仅2400、2410:指标对连续输出电流低于105mA有效。对高于105mA连续工作超过
1分钟,精度降低10%/35mA(高于105mA)。
2.速度=正常(1PLC)。对于0.1PLC,增加0.005%量程补偿指标,除了200mV、1A、10A量程,增加0.05%。对于0.01PLC,增加0.05%量程补偿指标,除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。
3.当正确归零时,精度适用于2线或4线模式。
4.在脉冲模式,限制在0.1 PLC测量。
电流准确度(本地或远端感测)
型号 | 量程 | 设置分辨率 | 电源 1, 3准确度(1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压) | 缺省测量分辨率 | 测量 5, 6, 7准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压) | 源/阱极限 |
2400, 2401 | 1.00000 µA | 50 pA | 0.035% + 600 pA | 10 pA | 0.029% + 300 pA | ±1.05A @ ±21 V ±105 mA @ ±210 V8 |
10.0000 µA | 500 pA | 0.033% + 2 nA | 100 pA | 0.027% + 700 pA | ||
100.000 µA | 5 nA | 0.031% + 20 nA | 1 nA | 0.025% + 6 nA | ||
1.00000 mA | 50 nA | 0.034% + 200 nA | 10 nA | 0.027% + 60 nA | ||
10.0000 mA | 500 nA | 0.045% + 2 µA | 100 nA | 0.035% + 600 nA | ||
100.000 mA | 5 µA | 0.066% + 20 µA | 1 µA | 0.055% + 6 µA | ||
1.00000 A2 | 50 µA | 0.27 % + 900 µA | 10 µA | 0.22 % + 570 µA | ||
2410 | 1.00000 µA | 50 pA | 0.035% + 600 pA | 10 pA | 0.029% + 300 pA | ±1.05A @ ±21 V ±21 mA @ ±1100 V |
10.0000 µA | 500 pA | 0.033% + 2 nA | 100 pA | 0.027% + 700 pA | ||
100.000 µA | 5 nA | 0.031% + 20 nA | 1 nA | 0.025% + 6 nA | ||
1.00000 mA | 50 nA | 0.034% + 200 nA | 10 nA | 0.027% + 60 nA | ||
20.0000 mA | 500 nA | 0.045% + 4 µA | 100 nA | 0.035% + 1.2 µA | ||
100.000 mA | 5 µA | 0.066% + 20 µA | 1 µA | 0.055% + 6 µA | ||
1.00000 A2 | 50 µA | 0.27 % + 900 µA | 10 µA | 0.22 % + 570 µA | ||
2420 | 10.0000 µA | 500 pA | 0.033% + 2 nA | 100 pA | 0.027% + 700 pA | ±3.15A @ ±21 V ±1.05 A @ ±63 V |
100.000 µA | 5 nA | 0.031% + 20 nA | 1 nA | 0.025% + 6 nA | ||
1.00000 mA | 50 nA | 0.034% + 200 nA | 10 nA | 0.027% + 60 nA | ||
10.0000 mA | 500 nA | 0.045% + 2 µA | 100 nA | 0.035% + 600 nA | ||
100.000 mA | 5 µA | 0.066% + 20 µA | 1 µA | 0.055% + 6 µA | ||
1.00000 A2 | 50 µA | 0.067% + 900 µA | 10 µA | 0.066% + 570 µA | ||
3.00000 A2 | 50 µA | 0.059% + 2.7 mA | 10 µA | 0.052% + 1.71 mA | ||
2440 | 10.0000 µA | 500 pA | 0.033% + 2 nA | 100 pA | 0.027% + 700 pA | ±5.25A @ ±10.5 V ±1.05 A @ ±42 V |
100.000 µA | 5 nA | 0.031% + 20 nA | 1 nA | 0.025% + 6 nA | ||
1.00000 mA | 50 nA | 0.034% + 200 nA | 10 nA | 0.027% + 60 nA | ||
10.0000 mA | 500 nA | 0.045% + 2 µA | 100 nA | 0.035% + 600 nA | ||
100.000 mA | 5 µA | 0.066% + 20 µA | 1 µA | 0.055% + 6 µA | ||
1.00000 A | 50 µA | 0.067% + 900 µA | 10 µA | 0.060% + 570 µA | ||
5.00000 A | 50 µA | 0.10 % + 5.4 mA | 10 µA | 0.10 % + 3.42 mA |
NOTES
注解:
1.仅2400、2410:指标对连续输出电流低于105mA有效。对于高于105mA连续工作>1 分钟,精度降低10%/35mA(高于105mA)。
2.全工作(1A)不考虑负载至30°C(50°C对于2420和2440)。高于30°C(50°C 对于2420和2440)环境温度,降低35mA/°C并且分配35mA/Ω负载。4线模 式。对于电流阱工作在1A、3A或5A量程,大连续功率限制在约1/2额定功率 或更低,这取决于电流,达30°C环境温度。见用户手册的功率公式计算具体 条件下允许的占空比。
3.对于阱模式,1μA~100mA量程,准确度是: 2400:±(0.15%+偏移量*4),2410、2420、2425、2430、2440:±(0.5%+偏移 量*3)。
对于1A量程,准确度是: 2400:±(1.5%+偏移量*8),2410、2420、2425、2430、2440:±(1.5%+偏移量*3)
4.10A的量程仅在脉冲模式中可以达到。限制在2.5ms脉冲宽度大值。10%占空比 大值。
5.速度=正常(1PLC)。对于0.1PLC,增加0.005%量程补偿指标,除了200mV、 1A、10A量程增加0.05%。对于0.01PLC,增加0.05%量程补偿指标,除了 200mV、1A、10A量程增加0.5%。
6.当正确归零时,精度适用于2线或4线模式。
7.在脉冲模式,限制在0.1 PLC测量。
8.仅2400和2400-C。
电阻测量准确度(本地或远端感测) 1, 2, 5
量程 | 缺省分辨率 | 缺省测试电流 2400, 2401, 2410 | 缺省测试电流 | 标准准确度 (23°C ±5°C)1 年, ±(% rdg. + 电流) | 增强准确度(23°C ±5°C)41 年, ±(%rdg.+电阻) | ||
2400, 2401 | 2410 | 2420, 2440 | 2400, 2401 | ||||
<0.20000 W3 | – | – | – | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC |
2.00000 W3 | 10 µW | – | 1 A | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC | 0.17% + 0.0003 W | Source IACC + Meas. VACC |
20.0000 W | 100 µW | 100 mA | 100 mA | 0.10% + 0.003 W | 0.11% + 0.006 W | 0.10% + 0.003 W | 0.07% + 0.001 W |
200.000 W | 1 mW | 10 mA | 10 mA | 0.08% + 0.03 W | 0.09% + 0.1 W | 0.08% + 0.03 W | 0.05% + 0.01 W |
2.00000 kW | 10 mW | 1 mA | 1 mA | 0.07% + 0.3 W | 0.08% + 0.6 W | 0.07% + 0.3 W | 0.05% + 0.1 W |
20.0000 kW | 100 mW | 100 µA | 100 µA | 0.06% + 3 W | 0.07% + 6 W | 0.06% + 3 W | 0.04% + 1 W |
200.000 kW | 1 W | 10 µA | 10 µA | 0.07% + 30 W | 0.07% + 60 W | 0.07% + 30 W | 0.05% + 10 W |
2.00000 MW6 | 10 W | 1 µA | 1 µA | 0.11% + 300 W | 0.12% + 600 W | 0.11% + 300 W | 0.05% + 100 W |
20.0000 MW7 | 100 W | 1 µA | 1 µA | 0.11% + 1 kW | 0.12% + 2.4 kW | 0.11% + 1 kW | 0.05% + 500 W |
200.000 MW3 | 1 kW | 100 nA | – | 0.66% + 10 kW | 0.66% + 24 kW | Source IACC + Meas. VACC | 0.35% + 5 kW |
>200.000 MW3 | – | – | – | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC | Source IACC + Meas. VACC |
温度系数(0°C ~18°C & 28°C ~50°C):±(0.15×规定的准 确度)/°C。
电流源模式,手动电阻:不确定度总和=电流源准确度+电压测 量准确度(4线远端感测)。
电压源模式,手动电阻:不确定度总和=电压源准确度+电流测 量准确度(4线远端感测)。
6线电阻模式:支持使用有源电阻防护和防护感测。防护输出
电流大值:50mA(1A量程除外)。准确度依赖于负载。计算公式请 参见第2033号白pi书。
防护输出阻抗:<0.1Ω,电阻模式。
注解
系统速度
测量 1
量程变化速率大值:75/s
自动量程测量时间大值:40ms(固定源)。
扫描工作模式3读数速度(读数/秒)@ 60Hz(50Hz):
速度 | NPLC/触发源 | 测量 | 源-测量 | 源-测量5通过失效测试4, 5 | 源-内存4 | ||||||||||||
至内存 | 至 GPIB | 至内存 | 至 GPIB | 至内存 | 至 GPIB | 至内存 | 至 GPIB | ||||||||||
Fast | 0.01 / internal | 2081 | (2030) | 1754 | 1551 | (1515) | 1369 | 902 | (900) | 981 | 165 | (162) | 165 | ||||
IEEE-488.1 Mode | 0.01 / external | 1239 | (1200) | 1254 | 1018 | (990) | 1035 | 830 | (830) | 886 | 163 | (160) | 163 | ||||
Fast | 0.01 / internal | 2081 | (2030) | 1198 | (1210) | 1551 | (1515) | 1000 | (900) | 902 | (900) | 809 | (840) | 165 | (162) | 164 | (162) |
IEEE-488.2 Mode | 0.01 / external | 1239 | (1200) | 1079 | (1050) | 1018 | (990) | 916 | (835) | 830 | (830) | 756 | (780) | 163 | (160) | 162 | (160) |
Medium | 0.10 / internal | 510 | (433) | 509 | (433) | 470 | (405) | 470 | (410) | 389 | (343) | 388 | (343) | 133 | (126) | 132 | (126) |
IEEE-488.2 Mode | 0.10 / external | 438 | (380) | 438 | (380) | 409 | (360) | 409 | (365) | 374 | (333) | 374 | (333) | 131 | (125) | 131 | (125) |
标准 | 1.00 / internal | 59 | (49) | 59 | (49) | 58 | (48) | 58 | (48) | 56 | (47) | 56 | (47) | 44 | (38) | 44 | (38) |
IEEE-488.2 Mode | 1.00 / external | 57 | (48) | 57 | (48) | 57 | (48) | 57 | (47) | 56 | (47) | 56 | (47) | 44 | (38) | 44 | (38) |
单读数工作模式的读速度(读数/秒)@ 60Hz(50Hz):
速度 | NPLC/触发源 | 测量 至 GPIB | 源-测量5 至 GPIB | 源-测量5 通过失效测试4, 5 至 GPIB | |||
Fast (488.1) | 0.01 / internal | 537 | 140 | 135 | |||
Fast (488.2) | 0.01 / internal | 256 | (256) | 79 | (83) | 79 | (83) |
Medium (488.2) | 0.10 / internal | 167 | (166) | 72 | (70) | 69 | (70) |
标准 (488.2) | 1.00 / internal | 49 | (42) | 34 | (31) | 35 | (30) |
元件@ 60Hz(50Hz)4, 6
速度 | NPLC/触发源 | 测量 至 GPIB | 源通过失效测试 | 源-测量通过失效测试5, 7至 GPIB | |||
Fast | 0.01 / external | 1.04 ms | (1.08 ms) | 0.5 ms | (0.5 ms) | 4.82 ms | (5.3 ms) |
Medium | 0.10 / external | 2.55 ms | (2.9 ms) | 0.5 ms | (0.5 ms) | 6.27 ms | (7.1 ms) |
标准 | 1.00 / external | 17.53 ms | (20.9 ms) | 0.5 ms | (0.5 ms) | 21.31 ms | (25.0 ms) |
NOTES
1 读数速率可用于电压或电流测量。关闭自稳零,关闭自动量 程,关闭滤波器,关闭显示,触发延时=0,并且采用二进制读 数格式。
2 纯电阻性导线。1μA和10μA量程<65ms。
3 1000点扫描特点是在固定量程输出。
4 采用上限和数学下限进行通过/失效测试。
5 包含在做测量之前重新设置源到新电平的时间。
6 从测试开始(START OF TEST)信号的下降沿到测试结束 (END OF TEST)信号的下降沿的时间。
7 不包括命令:SOURce:VOLTage|CURRent:TRIGgered 的 处理时间。
综合说明
噪声抑制:
NPLC | NMRR | CMRR | |
Fast | 0.01 | — | 80 dB |
Medium | 0.1 | — | 80 dB |
Slow | 1 | 60 dB | 100 dB1 |
1 除了低的2个电流量程=90dB。 |
负载阻抗:稳定至20,000pF(典型值)。
共模电压:250V直流(2440为40VDC)。
共模隔离:>109Ω,<1000pF。
过量程:量程的105%,源和测量。
输入/输出与测量端子之间的大压降:5V。
感测线电阻大值:1MΩ,额定准确度。
感测输入阻抗:>1010Ω。
防护偏置电压:<150μV,典型值(2430、2440的典型值为300μV)。
源输出模式:
脉冲(仅2430型)
固定直流电平
存储器列表(混合功能)
阶梯扫描(线性和对数)
内存缓冲区:5,000读数/秒@5位分辨率(2个2,500点缓冲区)。包含所选的测量值和时间戳。锂电池备份(电池寿命超过3年。)
源存储器列表:100点(大值)。
可编程性:IEEE-488 (SCPI-1995.0),RS-232,5个用户定义的上电状态加出厂缺省设置和*RST。
数字接口:
互锁:低电平输入有效:
处理程序接口:测试开始,测试结束,3类比特。+5V@300mA电源。
数字I/O:1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出(33V@500mA、二极管钳位)。
电源:100V-240Vrms,50Hz-60Hz(上电时自动检测)。
2400:190VA。2410:210VA。
2420:220VA。2425,2430:250VA。2440:240VA。
散热:(2410、2420、2425、2430、2440):强制空气,可变速度。
EMC:符合欧盟指令89/336/EEC,EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC,EN61010-1。
振动:MIL-PRF-28800F Class 3随机振动。
预热时间:1小时达到额定精度。
规格:89mm高×213mm宽×370mm深(3 1/2 in × 8 3/8 in × 14 9/16 in)。基准配置(带把手&支脚):104mm高×238mm宽×370mm深(4 1/8 in × 9 3/8 in × 14 9/16 in)。
重量:3.21kg(7.08磅)(2425、2430、2440重量为:4.1kg,9.0磅)。
工作环境:工作条件0°~50°C,70%相对湿度至35°C。降低3% R.H./°C,35°~50°C。
存储条件:-25°C ~ 65°C。